Kontakt:
Bianca Höfer (bianca.hoefer@fu-berlin.de)
web: https://www.suprafab.de

Methoden:
AFM - Atomkraftmikroskopie, FIB - Fokussierter Ionenstrahl, Glovebox

Geräte:
Raith - Pioneer II (EBL), direkt buchbar, Training notwendig,
JPK - Nanowizzard (AFM), direkt buchbar, Training notwendig,
FEI - Scios II (FIB), direkt buchbar, Training notwendig,
Inert - PureLab (GloveBox), direkt buchbar, Training notwendig,
Heidelberg Instruments - µMLA, direkt buchbar, Training notwendig,
Nikon - LV100ND, direkt buchbar, Training notwendig,
Angstrom - Covap, direkt buchbar, Training notwendig,
OxInst - Plasma Pro 80 RIE, direkt buchbar, Training notwendig,
OxInst - Plasma Pro 80 PECVD, direkt buchbar, Training notwendig,
KJ Lesker - Nano 36, direkt buchbar, Training notwendig,
Graphene Industries - Transfer System, direkt buchbar, Training notwendig,
Horiba - XPLORA Plus, direkt buchbar, Training notwendig,
NanoMagInst - ezAFM, direkt buchbar, Training notwendig, nur in Verbindung mit der Glove Box,
Olympus - Transfer System, direkt buchbar, Training notwendig,
Zeiss Axioskop 40 POL, direkt buchbar, Training notwendig, (assoz. AG Haag)
THINKY ARE-250 Misch- und Endgasungsgerät, direkt buchbar, Training notwendig,
PICO Niederdruck-Plasma-System, direkt buchbar, Training notwendig,

Services:
none

Buchungsvoraussetzungen:
Für die Nutzung aller Geräte ist eine Reinraum-Akkreditierung des Users notwendig
nur unassistierte Messungen, Training erforderlich